二成分気体の拡散混合における気体濃度の測定、特に気体濃度変動が有り高い応答性を必要とする場合に用いることができる。ガスタービンなどの燃焼器の気体燃料インジェクターの気体燃料拡散範囲の測定など。また、MEMS技術による微細化により本濃度計をマイクロチャネル内に挿入し、マイクロチャネル内の気体混合の際の気体濃度測定に用いることができる。
本研究の熱線濃度計は気体の濃度を感知する熱線あるいは熱膜、被測定気体を吸い込む微小ノズル、真空装置、および熱線用のアンプより構成されている。本技術には、熱線濃度計の基本要素である被測定気体の取り入れ口であるノズル、センサー本体である熱線、およびセンサーホルダーをMEMS技術により寸法を縮小すること、濃度の空間的分解能を向上させるセンサー感度を増加すること、およびノズルと気体通路・配線接触部の絶縁膜をポリイミドと酸化シリコンを使用して製作するところに特徴が有る。
ノズルから噴射される気体の濃度測定装置、マイクロチャンネル内の気体の濃度測定装置
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