ハイブリッドMEMS－超小型ランキンサイクル発電システムと医療用マイクロロボット－（研究紹介）

概要

IoT機器類の増加、持続可能な開発目標の提唱など、単一の技術・材料だけでは対応が困難な課題が様々にある。そこで、本提案では「ハイブリッドMEMS」として加工技術や材料特性の利点を組合わせた小型デバイスの開発を行う。　例として電磁誘導式発電システムの小型化、ロボットの小型について紹介する

電子情報技術の発展に寄与してきたMEMS技術とシリコン材料をこれまで組み合わされてこなかった他の技術・材料と組み合わせる
　　➡分野を越えて共有することで新たな価値を創造する

要素技術として「シリコン微細加工技術」「セラミック素子作製技術」、研究施設として「クリーンルーム」があります

日本大学理工学部にあるクリーンルームを利用した実験や粉体・ペーストの基礎検討なども対応可能です。

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