有機薄膜を感応膜としたガスセンサ素子において，従来のガスセンサ素子に比較して応答速度を著しく向上させたガスセンサ素子を提供する。また，有機感応膜の形成時間を短縮することで，生産性を著しく向上させたガスセンサ素子の製造方法を提供する。
本研究者は，有機薄膜を感応膜としたガスセンサ素子の応答プロセスが（１）気体状ガスの有機感応膜の表面への吸着プロセス、及び（２）有機感応膜の内部への拡散プロセスからなり，特に後者のプロセスが律速となって，応答に時間を要していることを見い出し，前者のプロセスのみでも十分な応答量が得られることを見い出した。そこで，本研究では，有機感応膜をラングミュア?ブロジェット法を用いて形成された超薄膜とすることにより，ガスセンサ素子の応答速度を著しく向上させた。また，その累積層を可能な限り少なくすることにより，有機感応膜の形成時間を短縮し，生産性を著しく向上させた。
ｶﾞｽｾﾝｻ，匂いｾﾝｻ，防災ｼｽﾃﾑ，空気環境測定ｼｽﾃﾑ，食品管理ｼｽﾃﾑ
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