マイクロメーターサイズの微細成型を様々な材料に適用するのは難しい。この方法は材料を粉体にすることによって微細加工を行う方法を提供する。
微粉を樹脂と混合し,数μmから数100μmの厚みのシートを作成する。このシートには柔軟性があり,加工がきわめて容易。また,樹脂成分に感光性のものを使用することによってフォトリソグラフィーの適用が可能。あるいは,微細構造の施された母型に充填剥離することで微細構造の転写ができる。
MEMS,マイクロマシン,マイクロファブリケーション,パッケージ,アクセサリー
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